1 | Pression de travail max. 20,6 Mpa. |
2 | Max.température de travail 204 ℃ (environnement à haute température jusqu'à 454 ℃, à ce moment le matériau d'étanchéité est remplacé par du graphite expansé) |
3 | Système de filtre Les polluants particulaires, les gaz et les liquides sont applicables. |
4 | Précision de filtre de filtre fritté par métallurgie des poudres d'acier inoxydable 2μm ~ 40μm |
5 | Débit du filtre 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.Pennsylvanie |
6 | Le filtre peut être changé. |
Caractéristiques du produit du filtre
1 | Large plage d'application, plage de débit de 15 à 300SL/min. |
2 | Il a une bonne compatibilité avec la plupart des gaz de traitement de semi-conducteurs de haute pureté. |
3 | La capacité de filtration de 3 nanoparticules maintient une efficacité de débit élevée et une chute de pression ultra-faible. |
4 | La surface électropolie 5Ra peut empêcher la pollution interne. |
5 | Cuire avec de l'azote chaud après de l'eau déionisée pour répondre aux normes de traitement des semi-conducteurs. |
6 | Environnement de fabrication, de nettoyage et d'emballage aseptique sans poussière de niveau 1000. |
7 | Testez 100 % de fuite d'hélium. |
Entrée | Sortie | |
1 | Raccord de tube 1/8″ | Raccord de tube 1/8″ |
2 | Raccord de tube 1/4″ | Raccord de tube 1/4″ |
3 | Raccord de tube 3/8″ | Raccord de tube 3/8″ |
4 | Raccord de tube 1/2″ | Raccord de tube 1/2″ |
5 | Raccord de tube 6MM | Raccord de tube 6MM |
6 | Raccord de tube 8MM | Raccord de tube 8MM |
7 | Raccord de tube de 10MM | Raccord de tube de 10MM |
8 | Raccord de tube de 12MM | Raccord de tube de 12MM |
9 | 1/8″ Femelle NPT | 1/8″ Femelle NPT |
10 | 1/4″ Femelle NPT | 1/4″ Femelle NPT |
11 | 1/4″ Mâle NPT | 1/4″ Mâle NPT |
12 | 3/8″ Mâle NPT | 3/8″ Mâle NPT |
13 | 1/2″ Mâle NPT | 1/2″ Mâle NPT |
Paramètres de performance du produit du filtre
1 | Précision de filtrage | ≥0.0025μm | |
2 | Efficacité de filtration | Taux d'élimination99.99999%≥0.0025μm | |
3 | Débit nominal | 15L/Min | |
4 | 60L/Min | ||
5 | 120L/Min | ||
6 | 200L/Min | ||
7 | 300L/Min | ||
8 | Composition du filtre | Element de filtre | 316L/PTFE |
9 | logement | acier inoxydable 316L | |
10 | Les conditions de travail | Pression d'entrée maximale | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Pression différentielle maximale | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Température de fonctionnement maximale | 430℃ (gaz inerte) | |
13 | Taux de fuite d'hélium | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Finition de surface | ≤Ra 5μin |