Le processus de production des gaz de spécialité électronique comprend plusieurs processus tels que la synthèse, la purification, le remplissage, l'analyse et les tests, le mélange et le proportionnement. Afin de répondre aux exigences de fabrication de semi-conducteurs en aval pour le contenu de la pureté et des impuretés, le processus de purification est très important. Selon la composition du gaz de synthèse en amont ou du gaz brut, une distillation à basse température ou une purification en plusieurs étapes est effectuée.
Exigences de propreté élevée
Le processus de préparation des gaz spéciaux électroniques peut être divisé en deux blocs majeurs de préparation et de purification de synthèse en amont, qui appartient au processus de production chimique. La taille du pipeline de production est importante et il n'y a pas d'exigence de niveau de propreté spéciale. Après la purification en aval, le produit est rempli de gaz et mélangé pour la préparation. Le pipeline de production est petit et a des exigences de niveau de propreté. Il doit répondre à la spécification standard du processus de fabrication de semi-conducteurs.
Exigences de scellement élevées
En raison de leur activité chimique, les gaz de spécialité électronique imposent également des demandes élevées sur les matériaux et l'étanchéité du système de processus de production. Tout comme les exigences de la fabrication de semi-conducteurs, il empêche les fuites d'interface causées par l'introduction d'impuretés ou la corrosion des gaz spéciaux. Le système peut également être utilisé pour empêcher l'introduction d'impuretés ou la fuite d'interface causée par la corrosion de gaz spéciaux.
Exigences de stabilité de haute qualité
La qualité des gaz de spécialité électronique comprend un certain nombre d'indicateurs tels que la pureté et la teneur en particules d'impureté. Tout changement dans les indicateurs affectera les résultats du processus de fabrication de semi-conducteurs en aval. Par conséquent, afin d'assurer la cohérence des indicateurs électroniques de produits de gaz spéciaux, le système de processus de préparation pour contrôler la stabilité des indicateurs est également très important.
En raison de l'activité chimique et des exigences de qualité de l'EGP, le système de production pour la préparation d'EGP, en particulier le système de purification en aval, doit répondre aux exigences des matériaux de haute pureté, de la scellation élevée, de la propreté élevée et de la cohérence de haute qualité, et la construction de composants conçues doit répondre aux normes de l'industrie manufacturière des semi-conducteurs.
Ce que nous appelons généralement la «haute pureté», c'est théoriquement la définition de la pureté d'une substance, telles que les gaz de haute pureté, les produits chimiques de haute pureté, etc. Les systèmes de processus ou les composants du système de processus qui sont appliqués aux substances de haute pureté sont également appelés à haute pureté, tels que les systèmes de haute pureté et les soupapes de haute pureté. Les systèmes électroniques de préparation au gaz nécessitent des raccords d'application de haute pureté, des vannes et d'autres composants fluides, c'est-à-dire des raccords et des vannes qui sont traités avec des matériaux de haute pureté et des processus de fabrication propres, et sont structurés pour une purge et un nettoyage faciles. Avec des performances de scellement élevées. Ces composants fluides sont conçus pour répondre au chemin de flux de processus de l'application, en utilisant les exigences d'ingénierie et de construction de l'industrie des semi-conducteurs.
Connexions de tuyauterie de haute pureté
Les connexions de joints de face du joint métallique VCR et les connexions de soudure des boutons de guidage automatique sont largement utilisés dans les exigences exigeantes du processus de pureté du système de fluide en raison de la capacité de répondre à la fois à la transition fluide du chemin d'écoulement à la connexion, à une zone de stagnation et à des performances de scellement élevées. Les performances de connexion et d'étanchéité répétables et cohérentes sont assurées chaque fois que le joint déformé est retiré et remplacé.
Les tubes sont soudés à l'aide d'un système de soudage orbital automatique. Le tube est protégé par des gaz de haute pureté à l'intérieur et à l'extérieur. L'électrode en tungstène tourne le long de l'orbite pour un soudage de haute qualité. Le soudage orbital entièrement automatisé fait fondre le tuyau sans introduire d'autres matériaux, il est difficile de réaliser une soudure de haute qualité en contrôlant à plusieurs reprises les tuyaux à parois minces avec le soudage manuel.
Connexion du joint de face du joint métallique VCR
Connexion automatique du soudage des boutons orbitaux des tuyaux
Vannes de haute pureté
L'activité chimique des gaz électroniques inflammables, explosifs, corrosifs et toxiques impose des exigences élevées à la scellement de la valve. Afin d'améliorer la fiabilité d'étanchéité, l'exigence de soupapes sans emballage pour éviter les fuites externes, c'est-à-dire le fonctionnement de la tige de soupape et le corps de soupape entre le joint à l'aide d'un soufflet métallique ou du diaphragme métallique, afin d'éliminer les fuites dues à l'abrasion et à la déformation du joint d'emballage. Les soupapes de scellées et de diaphragmes sont couramment utilisées dans les systèmes de processus pour les applications de haute pureté en raison de la plus grande fiabilité des joints et du nettoyage et du remplacement de purge plus faciles des internes de vanne.
Les soupapes de scellées sont une construction de soupapes d'aiguille sans emballage qui permet une ouverture lente et une régulation de débit. Utilisé pour le remplissage de gaz spécialisé électronique avec des exigences de débit de sécurité ou sur les bouteilles de source précurseur avec des exigences de sécurité élevées. Les joints de pointe de tige tout métal permettent des températures de fonctionnement extrêmement faibles et sont utilisés pour la liquéfaction cryogénique des gaz de spécialité électronique dans les réservoirs de produit fini après distillation cryogénique pour la tuyauterie.
La soupape de joint à diaphragme sans ressort est une vanne instantanée de 1/4 ″ pour une utilisation comme soupape de commutation contrôlée automatiquement dans la tuyauterie de livraison. Ils sont couramment utilisés dans les applications à ultra-pression et à haute pureté en raison de leur simple chemin d'écoulement interne, de leur petit volume interne et de leur facilité de purge et de remplacement.
Les vannes scellées par le diaphragme qui se ferment via la pointe de la tige peuvent s'ouvrir lentement et être utilisées à des pressions de fonctionnement plus élevées que les vannes non scellées à diaphragme non pung. Ils sont largement utilisés sur le remplissage électronique de spécialité à haute pression ou les bouteilles de source précurseur.
La vanne de soufflet de joint secondaire peut non seulement être utilisée dans des systèmes de processus de température ultra-bas à -200 degrés, mais empêche également la fuite de milieux dangereux dans l'atmosphère. Habituellement utilisé pour des gaz spéciaux électroniques très dangereux, tels que le système de remplissage de silane.
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