La technologie de tuyauterie de gaz de haute pureté est une partie importante du système d'approvisionnement en gaz de haute pureté, qui est la technologie clé pour fournir le gaz de haute pureté requis au point d'utilisation et maintenir la qualité qualifiée; La technologie de tuyauterie de gaz de haute pureté comprend la conception correcte du système, la sélection des raccords et accessoires, la construction et l'installation et les tests. Ces dernières années, les exigences de plus en plus strictes sur la contenu de pureté et d'impureté des gaz de haute pureté dans la production de produits de microélectronique représentés par des circuits intégrés à grande échelle ont rendu la technologie de tuyauterie de gaz de haute pureté et de plus en plus souligné. Ce qui suit est un bref aperçu de la tuyauterie de gaz de haute pureté à partir de la sélection des matériauxof construction, ainsi que l'acceptation et la gestion quotidienne.
Types de gaz communs
Classification des gaz communs dans l'industrie de l'électronique：
Gaz communs（Gaz en vrac）: hydrogène (H2), azote (n2), oxygène (o2), argon (un2), etc.
Gaz spécialiséssont sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2o,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Les types de gaz spéciaux peuvent généralement être classés comme corrosifsgaz, toxiquegaz, inflammablegaz, combustiblegaz, inertegaz, etc. Les gaz semi-conducteurs couramment utilisés sont généralement classés comme suit.
(i) corrosif / toxiquegaz: HCL, BF3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, NH3, PH3, CL2, Bcl3…etc.
(ii) Inflammabilitégaz: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Ch3F, co… etc.
(iii) la combustibilitégaz: O2, CL2, N2O, NF3… etc.
(iv) inertegaz: N2, Cf4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, il… etc.
De nombreux gaz semi-conducteurs sont nocifs pour le corps humain. En particulier, certains de ces gaz, tels que SIH4 La combustion spontanée, tant qu'une fuite réagira violemment avec l'oxygène dans l'air et commencera à brûler; et cendre3Très toxique, toute légère fuite peut provoquer le risque de vie humaine, c'est en raison de ces dangers évidents, de sorte que les exigences pour la sécurité de la conception du système sont particulièrement élevées.
Étendue de l'application des gaz
En tant que matière première de base importante de l'industrie moderne, les produits de gaz sont largement utilisés et un grand nombre de gaz communs ou de gaz spéciaux sont utilisés dans la métallurgie, l'acier, le pétrole, l'industrie chimique, les machines, l'électronique, le verre, la céramique, les matériaux de construction, la construction, la transformation des aliments, les médicaments et les secteurs médicaux. L'application du gaz a un impact important sur la haute technologie de ces champs en particulier, et est son gaz de matière première indispensable ou le gaz de processus. Ce n'est que avec les besoins et la promotion de divers nouveaux secteurs industriels et la science et la technologie modernes que les produits de l'industrie du gaz peuvent être développés à pas de géant en termes de variété, de qualité et de quantité.
Application de gaz en microélectronique et semi-conducteur
L'utilisation du gaz a toujours joué un rôle important dans le processus de semi-conducteur, en particulier le processus de semi-conducteur a été largement utilisé dans diverses industries, de la TFT, TFT-LCD traditionnelle à l'industrie micro-électro-mécanique (MEMS) actuelle, qui utilisent toutes le processus de semi-conducteur si automatique comme processus de fabrication. La pureté du gaz a un impact décisif sur la performance des composants et des rendements des produits, et la sécurité de l'approvisionnement en gaz est liée à la santé du personnel et à la sécurité des opérations de l'usine.
L'importance de la tuyauterie de haute pureté dans le transport de gaz de haute pureté
Au cours de la fusion et de la fabrication de matériaux en acier inoxydable, environ 200 g de gaz peuvent être absorbés par tonne. Après le traitement de l'acier inoxydable, non seulement sa surface collante avec divers contaminants, mais aussi dans son réseau métallique a également absorbé une certaine quantité de gaz. Lorsqu'il y a un flux d'air à travers le pipeline, le métal absorbe cette partie du gaz dans le flux d'air, polluant le gaz pur. Lorsque le flux d'air dans le tube est un débit discontinu, le tube adsorbe le gaz sous pression, et lorsque le flux d'air cesse de passer, le gaz adsorbé par le tube forme une chute de pression pour résoudre et le gaz résolu entre également dans le gaz pur dans le tube comme des impuretés. Dans le même temps, l'adsorption et la résolution sont répétées, de sorte que le métal sur la surface intérieure du tube produit également une certaine quantité de poudre, et ces particules de poussière métallique polluent également le gaz pur à l'intérieur du tube. Cette caractéristique du tube est essentielle pour assurer la pureté du gaz transporté, qui nécessite non seulement une très haute douceur de la surface intérieure du tube, mais aussi une résistance à l'usure élevée.
Lorsque le gaz avec de fortes performances corrosifs est utilisé, les tuyaux en acier inoxydable résistant à la corrosion doivent être utilisés pour la tuyauterie. Sinon, le tuyau produira des taches de corrosion sur la surface intérieure en raison de la corrosion, et dans les cas graves, il y aura une grande zone de décapage métallique ou même de perforation, qui contaminera le gaz pur à distribuer.
La connexion des pipelines de transmission et de distribution de gaz et de répartition à haute pureté et à haute maîtrise des grands débits.
En principe, tous sont soudés et les tubes utilisés sont nécessaires pour ne pas changer d'organisation lorsque le soudage est appliqué. Les matériaux avec une teneur en carbone trop élevée sont soumis à la perméabilité à l'air des pièces soudées lors du soudage, ce qui fait la pénétration mutuelle des gaz à l'intérieur et à l'extérieur du tuyau et détruit la pureté, la sécheresse et la propreté du gaz transmis, entraînant la perte de tous nos efforts.
En résumé, pour le gaz de haute pureté et le pipeline de transmission de gaz spécial, il est nécessaire d'utiliser un traitement spécial du tuyau en acier inoxydable de haute pureté, pour fabriquer un système de pipeline de haute pureté (y compris les tuyaux, les raccords, les vannes, la VMB, la VMP) dans la distribution de gaz de haute pureté occupe une mission vitale.
Concept général de technologie propre pour les pipelines de transmission et de distribution
La transmission du corps du gaz très pur et propre avec la tuyauterie signifie qu'il existe certaines exigences ou contrôles pour que trois aspects du gaz soient transportés.
Pureté du gaz: la teneur en atmosphère d'impureté dans la pureté GGAS: la teneur en atmosphère d'impureté dans le gaz, généralement exprimée en pourcentage de pureté de gaz, comme 99,9999%, également exprimée comme le rapport volumique de la teneur en atmosphère d'impureté PPM, PPB, PPT.
Sécheresse: la quantité de trace d'humidité dans le gaz, ou la quantité appelée humidité, généralement exprimée en termes de point de rosée, comme le point de rosée de pression atmosphérique -70. C.
Propre: le nombre de particules contaminantes contenues dans le gaz, taille des particules de µm, combien de particules / m3 à exprimer, pour l'air comprimé, généralement également exprimé en termes de Mg / m3 de résidus solides inévitables, qui couvre la teneur en huile.
Classification de la taille des polluants: particules de polluants, se réfère principalement à la récurage des pipelines, à l'usure, à la corrosion générée par les particules métalliques, les particules de suie atmosphérique, ainsi que les micro-organismes, les phages et les gouttelettes de condensation contenant de l'humidité, etc.
a) grandes particules - taille des particules supérieures à 5 μm
b) Diamètre de particules - matériau entre 0,1 μm-5 μm
C) Particules ultra-micro - Taille des particules inférieure à 0,1 μm.
Afin d'améliorer l'application de cette technologie, pour pouvoir compréhension perceptuelle de la taille des particules et des unités μm, un ensemble de statut de particules spécifiques est fourni pour référence
Ce qui suit est une comparaison de particules spécifiques
| Nom / Taille des particules (µm) | Nom / Taille des particules (µm) | Nom / Taille des particules (µm) |
| Virus 0,003-0.0 | Aérosol 0,03-1 | Microdroplet aérosolisé 1-12 |
| Combustible nucléaire 0,01-0.1 | Peinture 0,1 à 6 | As cendres volantes 1-200 |
| Black de carbone 0,01-0.3 | Lait en poudre 0,1-10 | Pesticide 5-10 |
| Résine 0,01-1 | Bactéries 0.3-30 | Ciment Dust 5-100 |
| Fumée de cigarette 0,01-1 | Poussière de sable 0,5-5 | Pollen 10-15 |
| Silicone 0,02-0.1 | Pesticide 0,5-10 | Cheveux humains 50-120 |
| Sel cristallisé 0,03-0,5 | Poussière de soufre concentrée 1-11 | Sable de mer 100-1200 |
Heure du poste: 14 juin-2022